MetroFrame · Messtechnik

Waferadapter für die Messtechnik

MetroFrame bildet die Handlingschnittstelle zwischen einem kleineren Substrat und einer Messanlage. Messmethode, Substratgeometrie und Geräteschnittstellen bestimmen die Anforderungen.

Anforderungen besprechen

MetroFrame-Adapter in einer Reinraumanwendung

KI-bearbeitet

Anforderungen des Messgeräts

CD-SEM, Schichtwiderstandsmessung und Defektinspektion stellen unterschiedliche Anforderungen an Platzierung, Kontakt und Handling. Zielgerät und Messmethode bestimmen die Adapterprüfung.

Beladung und Handling

Der Handlingablauf umfasst Kassette, Roboter, Chuck, Ausrichtung sowie Be- und Entladung. Messflächen und Bereiche mit eingeschränktem Kontakt sind Teil der Prüfung.

Technische Anforderungen

Platzierungstoleranz, Wiederholbarkeit, Kontaktbeschränkungen und Abnahmekriterien bestimmen die Bewertung der gewählten Konfiguration.

Kassette und Schnittstelle im Detail

Die fotografierte Anordnung sitzt in einem Kassettenfach. Kassettengeometrie, Roboterübergaben und Chuckschnittstellen werden für die Zielanlage gemeinsam bewertet – nicht pauschal als austauschbar vorausgesetzt.

Vollständige Frontansicht einer roten Kassette mit runden Baugruppen und sichtbaren Kassettenfächern — Gesamtansicht der fotografierten Kassettenkonfiguration.

Adapterbaugruppe im unteren Kassettenfach, darüber runde Bauteile — Adapter im Kassettenfach, Detailansicht.

Angaben für eine Messtechnik-Anfrage

Substratmaterial, Geometrie und Kontaktbeschränkungen
Zielgerät und Messmethode
Platzierungs- und Wiederholbarkeitsanforderungen
Kassetten-, Roboter- und Chuckschnittstellen
Abnahmekriterien und erforderliche Ergebnisse

Was wir gemeinsam prüfen

Der Adapter wird auf Ihr Substrat, Ihre Anlage und Ihren Prozess abgestimmt. Wir prüfen die Schnittstellen, Betriebsbedingungen und Abnahmeanforderungen Ihrer Anwendung.
Technischer Bereich	Angaben zu Ihrer Anwendung
Substrat	Material, Durchmesser oder Form, Dicke und Kontaktbeschränkungen
Zielanlage	Anlagenmodell, Carrierformat, Kassetten-, Roboter- und Chuckschnittstellen; nötige Änderungen
Platzierung und Fixierung	Ausrichtung, Platzierungstoleranz und Halt während der vorgesehenen Prozessfolge
Prozessbedingungen	Relevante Chemie, Konzentration, Temperatur, Einwirkzeit, Rotation oder Vakuumbedingungen
Handling	Be- und Entladung, manuelle oder automatische Übergaben und Kontaminationsanforderungen
Abnahme	Abnahmekriterien und erforderliche Prüfergebnisse

Vor Ihrer Anfrage

Informieren Sie sich über Messtechnik und Nassprozessentwicklung.

Nassprozessentwicklung

Anwendung besprechen

Beschreiben Sie Ihr Substrat und Ihre Zielanlage. Sind mehrere Anlagen beteiligt, nennen Sie die Prozessschritte.

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